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シラン排ガス処理システム

半導体、太陽光発電、電子機器業界で発生する製品の取り扱いに特化しています。シラン(SiH₄)廃ガスシラン類は可燃性、爆発性があり、毒性も非常に高いため、適切に密閉する必要があります。燃焼分解+粉塵除去+多段階スプレー洗浄完全に無害な処理方法:排気ガスはまず...燃焼バレルこれらの物質は内部で完全に燃焼・酸化され、無害な物質に分解されます。その後…集塵機微粒子を除去してから、次の手順に進んでください。燃焼噴霧塔+噴霧塔2段階洗浄により残留有害物質を中和・吸収し、最後に…排気ファンそして煙突排出ガスは安全基準を満たしています。

装備構成:

  1. 排気ガス収集装置
  2. 燃焼室(シラン燃焼分解装置)
  3. 集塵機(乾式集塵機)
  4. 燃焼噴霧塔(高温洗浄および冷却)
  5. スプレータワー(深層洗浄および吸着)
  6. 排気ファン
  7. 煙突(規格適合排気筒)
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